[实用新型]一种晶元载物装置

摘要

本实用新型公开了一种晶元载物装置，包括用于放置物料的载物盘，还包括第一载物底座，第一载物底座上设有张紧装置，张紧装置包括装设于第一载物底座上的第二载物底座，第二载物底座由上至下依次设置有张紧顶板和张紧底板，载物盘装设于张紧顶板上；其中，张紧顶板上开设有避让孔，张紧底板上可转动地设置有张紧环，张紧环贯穿避让孔；载物盘包括载物膜，载物膜覆盖于避让孔上，且张紧环的上端与载物膜连接；通过使张紧环做旋转运动，使物料能够成功地从载物膜上剥离下来。本实用新型提供了一种晶元载物装置，通过设置张紧装置以提高物料剥离的速率和成功率，解决目前物料剥离成功率不高的问题。

主权项

1.一种晶元载物装置，包括用于放置物料的载物盘，其特征在于，还包括第一载物底座，所述第一载物底座上设有张紧装置，所述张紧装置包括装设于所述第一载物底座上的第二载物底座，所述第二载物底座上设有由上至下依次设置的张紧顶板和张紧底板；所述载物盘装设于所述张紧顶板上；其中，所述张紧顶板上开设有避让孔，所述张紧底板上可转动地设置有张紧环，所述张紧环贯穿所述避让孔；所述载物盘包括载物膜，所述载物膜覆盖于所述避让孔上，且所述张紧环的上端与所述载物膜连接；所述第二载物底座上设有第一张紧调节驱动件，所述张紧底板上可旋转地设置有第一张紧调节轮，所述第一张紧调节驱动件驱动连接所述第一张紧调节轮，所述第一张紧调节轮传动连接所述张紧环。