[实用新型]一种全自动镀膜设备

摘要

本实用新型提供一种全自动镀膜设备，包括：蒸镀装置，所述蒸镀装置一侧设有蒸镀源发生器，所述蒸镀装置内设有辅助加热装置，所述辅助加热装置包括辅助加热板，所述辅助加热板通过加热板调节座安装在蒸镀装置内，所述蒸镀源发生器包括蒸发坩埚，所述蒸发坩埚一侧设有预热坩埚，所述蒸发坩埚下端设有加热盘，所述加热盘上设有若干加热头，所述蒸镀装置包括蒸镀釜，所述蒸镀釜上端设有蒸镀釜封头，所述蒸镀釜封头内设有镀膜喷管装置，本实用新型可以在加料的同时进行预热，提高加热均匀度，防止飞溅，而且，将传统镀膜装置的单个镀膜源，分散成若干喷头，可以大大提高蒸镀的均匀性，提高镀膜层的平整度，提高产品品质。

主权项

1.一种全自动镀膜设备，包括：蒸镀装置，其特征在于：所述蒸镀装置一侧设有蒸镀源发生器，所述蒸镀装置内设有辅助加热装置，所述辅助加热装置包括辅助加热板，所述辅助加热板通过加热板调节座安装在蒸镀装置内，所述蒸镀源发生器包括蒸发坩埚，所述蒸发坩埚一侧设有预热坩埚，所述蒸发坩埚下端设有加热盘，所述加热盘上设有若干加热头，所述加热盘下端安装在加热盘固定座上，所述蒸镀装置包括蒸镀釜，所述蒸镀釜上端设有蒸镀釜封头，所述蒸镀釜封头内设有镀膜喷管装置，所述镀膜喷管装置通过喷管装置固定支架安装在蒸镀釜封头内，所述镀膜喷管装置连接于蒸镀源输送管上，所述蒸镀釜封头上设有抽真空管，所述抽真空管上设有抽真空泵，所述抽真空泵安装在真空泵固定座上，所述蒸镀釜内设有镀件放置板，所述镀件放置板上设有镀件固定支架，所述镀件固定支架上设有柔性垫块，镀件放置在柔性垫块上，所述镀件放置板下端安装在升降气缸上，所述升降气缸的输出端通过放置板安装座安装在镀件放置板上，所述升降气缸的缸体通过升降气缸固定座安装在蒸镀釜底部。