[实用新型]机械手臂对准装置有效
| 申请号： | 201821378979.6 | 申请日： | 2018-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN208663827U | 公开（公告）日： | 2019-03-29 |
| 发明（设计）人： | 岳志刚;辛君;林宗贤;吴龙江 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B25J13/08 | 分类号： | B25J13/08 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;陈丽丽 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种机械手臂对准装置。所述机械手臂对准装置，包括控制器、多个光信号发射器以及与多个光信号发射器一一对应的多个光信号接收器；多个所述光信号发射器均安装于机械手臂上，用于同向发射光信号；所述光信号接收器安装于装载台上，用于接收所述光信号发射器发射的光信号；所述控制器，连接多个所述光信号接收器，用于检测多个所述光信号接收器是否同时接收到光信号，若是，则控制所述机械手臂将晶圆转移至所述装载台。本实用新型避免了晶圆在装载台上的位置偏移，确保了半导体制程持续、稳定的进行。 | ||
| 搜索关键词： | 机械手臂 光信号发射器 光信号接收器 对准装置 本实用新型 控制器 晶圆 装载 半导体制造技术 半导体制程 位置偏移 发射光 装载台 同向 发射 检测 | ||
【主权项】：
1.一种机械手臂对准装置，其特征在于，包括控制器、多个光信号发射器以及与多个光信号发射器一一对应的多个光信号接收器；多个所述光信号发射器均安装于机械手臂上，用于同向发射光信号；所述光信号接收器安装于装载台上，用于接收所述光信号发射器发射的光信号；所述控制器连接多个所述光信号接收器，用于检测多个所述光信号接收器是否同时接收到光信号，若是，则控制所述机械手臂将晶圆转移至所述装载台。
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