[实用新型]一种抗高过载膜盒型陶瓷电阻型压力传感器

摘要

本实用新型公开了一种抗高过载膜盒型陶瓷电阻型压力传感器，包括用于感测被测介质压力而产生微形变的陶瓷膜片及丝印的厚膜感测电阻、与陶瓷膜片紧密连接带有微凹槽的陶瓷基座、设置在陶瓷基座后用于检测微形变并转换为对应的标准测量信号的厚膜调理电路。本实用新型采用的是膜片与基座间形成微膜盒结构式，在过载超压时，陶瓷膜片最大形变不超过基座凹槽的深度，在最大行程内，膜片已经直接贴到坚固的基座下方的平面上，进而从结构上保证了陶瓷膜片不会产生过大变形，具有很强的抗冲击及抗过载能力，稳定性高，测量精度高。

主权项

1.一种陶瓷电阻式压力传感器，其特征在于，包括用于感测被测介质压力而产生微位移的陶瓷膜片、与所述陶瓷膜片紧密配合产生同样的所述微位移的陶瓷基座、设置在所述陶瓷基座内用于检测所述微位移并转换为对应的标准测量信号的厚膜电路；所述陶瓷基座包括圆环台阶、设置在所述圆环台阶上侧的基座上膜片、以及设置在所述圆环台阶下侧的基座下膜片；所述圆环台阶、基座上膜片和基座下膜片一体成型，其中圆环台阶与基座凹槽一体干压、成型；所述厚膜电路设置在所述基座下膜片内；所述陶瓷基座的中心位置处设置有一个用于通气的通气通孔；所述基座下膜片还包括4个电极通孔；所述陶瓷基座的边缘位置处设置有一个用于定位的定位通孔；所述厚膜电路包括惠斯通电桥、零点补偿电阻R5和零点补偿电阻R6；所述惠斯通电桥包括压敏电阻R1、压敏电阻R2、压敏电阻R3和压敏电阻R4；其中两个压敏电阻位于基座下膜片的弹性区域中央，另两个压敏电阻位于基座下膜片的弹性区域边缘；所述零点补偿电阻R5与所述压敏电阻R1串联，所述零点补偿电阻R6与所述压敏电阻R2串联。