[实用新型]检测设备有效
| 申请号： | 201821390168.8 | 申请日： | 2018-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN208969197U | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 吴欢欢;王静 | 申请（专利权）人： | 苏州通富超威半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 薛异荣;吴敏 |
| 地址： | 215021 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种检测设备，包括：XYZ三轴运动模块；所述XYZ三轴运动模块包括：基座；位于所述基座上的支架；位于所述基座表面的Y轴自由度执行机构；位于所述支架顶部的X轴自由度执行机构；位于所述X轴自由度执行机构上且沿着Z轴方向连轴安装的Z轴自由度执行机构；固定于所述Y轴自由度执行机构表面的电性能测试模块；与所述X轴自由度执行机构固定或与Z轴自由度执行机构相对固定的视觉检测模块；与所述Z轴自由度执行机构固定的压力模块，所述压力模块适于在所述电性能测试模块检测探针的电学性能的过程中给探针施加压力。所述检测设备提高了对探针的检测效率和准确度。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 电性能测试 检测设备 三轴运动 压力模块 视觉检测模块 准确度 电学性能 基座表面 机构表面 模块检测 施加压力 支架顶部 固定的 种检测 支架 检测 | ||
【主权项】：
1.一种检测设备，用于检测探针，其特征在于，包括：XYZ三轴运动模块；所述XYZ三轴运动模块包括：基座；位于所述基座上的支架；位于所述基座表面的Y轴自由度执行机构；位于所述支架顶部的X轴自由度执行机构；位于所述X轴自由度执行机构上且沿着Z轴方向连轴安装的Z轴自由度执行机构；固定于所述Y轴自由度执行机构表面的电性能测试模块；与所述X轴自由度执行机构固定或与Z轴自由度执行机构相对固定的视觉检测模块；与所述Z轴自由度执行机构固定的压力模块，所述压力模块适于在所述电性能测试模块检测探针的电学性能的过程中给探针施加压力。
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