[实用新型]监测间隙大小的设备有效
| 申请号： | 201821400132.3 | 申请日： | 2018-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN208567809U | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 白晓鹏;倪明明;吴宗祐;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/14 | 分类号： | G01B11/14 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种监测间隙大小的设备，用于监测两块石墨板之间形成的间隙的大小，包括：位于石墨板一侧可移动的镭射发射器、位于石墨板相对的另一侧的可移动的镭射接收器以及与所述镭射发射器和镭射接收器均信号连接的路程计算设备；所述镭射发射器和所述镭射接收器平行于所述石墨板移动，所述镭射发射器发射的激光垂直于所述石墨板并且穿过所述间隙。在本实用新型提供的一种监测间隙大小的设备种，1、可以实时监测石墨板组成的间隙的状态，保证间隙对于离子束筛选能力，从而提高离子束的质量；2、让工程师实时了解间隙的实际状态，更好的安排机台的保养对于间隙的更换标准进行量化，不再是依靠工程师经验判断，减少浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨板 镭射发射器 镭射接收器 监测 本实用新型 可移动 离子束 工程师 机台 计算设备 经验判断 实际状态 实时监测 信号连接 保养 平行 激光 垂直 路程 穿过 量化 筛选 发射 移动 保证 | ||
【主权项】：
1.一种监测间隙大小的设备，用于监测两块石墨板之间形成的间隙的大小，其特征在于，包括：位于石墨板一侧可移动的镭射发射器、位于石墨板相对的另一侧的可移动的镭射接收器以及与所述镭射发射器和镭射接收器均信号连接的路程计算设备；所述镭射发射器和所述镭射接收器平行于所述石墨板移动，所述镭射发射器发射的激光垂直于所述石墨板并且穿过所述间隙。
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