[实用新型]一种水平式硅片甩干机有效
| 申请号： | 201821410830.1 | 申请日： | 2018-08-29 |
| 公开（公告）号： | CN209054857U | 公开（公告）日： | 2019-07-02 |
| 发明（设计）人： | 欧阳小泉 | 申请（专利权）人： | 无锡泉一科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B5/08 | 分类号： | F26B5/08;F26B25/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214177 江苏省无锡市惠山*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种水平式硅片甩干机，适用于晶圆湿式清洗后的干燥，其包括无刷伺服电机、连轴转盘和硅片承载盘，所述连轴转盘的底部向下延伸有中心轴，所述硅片承载盘固定于所述连轴转盘上，且所述硅片承载盘的周边均布有若干个硅片承载盒，其中，所述无刷伺服电机的输出轴端安装有联轴器座，所述联轴器座内设置有联轴器，所述联轴器将无刷伺服电机的输出轴与中心轴连接，且所述联轴器与所述联轴器座之间设置有轴承。上述水平式硅片甩干机采用联轴器将电机转轴与转盘的中心轴直连，不仅结构简单，体积小；而且旋转平稳性好，噪音小，干燥效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 无刷伺服电机 硅片甩干机 硅片承载 联轴器座 联轴器 水平式 中心轴 联轴器将电机 本实用新型 硅片承载盒 旋转平稳性 干燥效果 湿式清洗 输出轴端 向下延伸 输出轴 体积小 晶圆 均布 直连 转盘 转轴 轴承 噪音 | ||
【主权项】：
1.一种水平式硅片甩干机，其包括无刷伺服电机、连轴转盘和硅片承载盘，所述连轴转盘的底部向下延伸有中心轴，所述硅片承载盘固定于所述连轴转盘上，且所述硅片承载盘的周边均布有若干个硅片承载盒，其特征在于，所述无刷伺服电机的输出轴端安装有联轴器座，所述联轴器座内设置有联轴器，所述联轴器将无刷伺服电机的输出轴与中心轴连接，且所述联轴器与所述联轴器座之间设置有轴承。
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