[实用新型]位线结构及存储器

摘要

本实用新型提供了一种位线结构及存储器，所述位线结构包括基底，位于基底上的多条位线，多条位线间隔排列，以及隔离材料层、多孔绝缘材料层与空气隙，隔离材料层位于基底和位线上，隔离材料层覆盖位线的顶部和侧壁，多孔绝缘材料层位于隔离材料层上，多孔绝缘材料层覆盖隔离材料层，且多孔绝缘材料层中具有多个孔隙，空气隙位于位线两侧并在隔离材料层和多孔绝缘材料层之间，且空气隙与多孔绝缘材料层中的多个孔隙连通，所述空气隙能够减小位线之间的寄生电容，提升器件的性能。

主权项

1.一种位线结构，其特征在于，包括：基底，位于所述基底上的多条位线，多条所述位线间隔排列；隔离材料层，位于所述基底和所述位线上，所述隔离材料层覆盖所述位线的顶部和侧壁；多孔绝缘材料层，位于所述隔离材料层上，所述多孔绝缘材料层覆盖所述隔离材料层，且所述多孔绝缘材料层中具有多个孔隙；空气隙，位于所述位线两侧并在所述隔离材料层和所述多孔绝缘材料层之间，且所述空气隙与所述多孔绝缘材料层中的多个孔隙连通。