[实用新型]一种具有硅片分片装置的设备

摘要

本实用新型公开了一种具有硅片分片装置的设备，包括工作平台、设备型材架、硅片料托投入口、硅片升降装置、横移搬运装置、硅片输送装置、入篮装置、电磁阀和硅片分片装置。该硅片分片装置包括喷嘴，喷嘴通过喷嘴安装钣金与U型的喷嘴安装板相连，安装在设备型材架上，并分别设于硅片升降装置上硅片的两侧，该喷嘴通过电磁阀控制；硅片升降装置上硅片两侧的U型的喷嘴安装板上对称设有对射光纤传感器。本实用新型采用的硅片分片装置不用在水中进行硅片分片，通过设备型材架上设置喷嘴，采用压缩空气的方式，在分片的同时，喷出的气体对硅片不会伤害到硅片，且节约空间，只需硅片整齐的摆放好，就可以达到分片的目的。

主权项

1.一种具有硅片分片装置的设备，包括工作平台(13)、设备型材架(20)、硅片料托投入口(11)、硅片升降装置(22)、横移搬运装置(10)、硅片输送装置(9)、物料传感器、入篮装置(8)和电磁阀，其特征在于，还包括硅片分片装置(12)，所述硅片分片装置(12)包括喷嘴(3)，所述喷嘴(3)安装在设备型材架(20)上，并分别设于硅片升降装置(22)上硅片(4)的两侧。