[实用新型]一种新型MASK修补机上下料装置有效

专利信息
申请号: 201821474546.0 申请日: 2018-09-10
公开(公告)号: CN208706604U 公开(公告)日: 2019-04-05
发明(设计)人: 薛文卿 申请(专利权)人: 无锡中微掩模电子有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677;H01L21/687
代理公司: 苏州国诚专利代理有限公司 32293 代理人: 李凤娇
地址: 214135 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种新型MASK修补机上下料装置,包括活动板一,活动板二,夹具组件,所述的活动板一下方设有滑槽一,所述的滑槽一内安装有滑杆一,所述的滑杆一一端上设有安装块一,所述的差速器一与正反转电机一连接,所述的活动板一上方设有滑槽二,所述的滑槽二内安装有滑杆二,所述的滑杆二一端上设有安装块二,所述的安装块二上设有上安装有螺杆二,所述的螺杆二一端安装在固定座二上,所述的槽口内安装有转轴。本实用新型通过新型MASK修补机上下料装置的设置,实现了具备装夹不同长宽尺寸的产品,做到定位精准,装夹不同厚度的产品,做到工艺反应面确保同一高度的工艺平台。
搜索关键词: 活动板 滑槽 滑杆 下料装置 安装块 修补 本实用新型 螺杆 装夹 正反转电机 定位精准 工艺反应 工艺平台 夹具组件 差速器 固定座 槽口 转轴
【主权项】:
1.一种新型MASK修补机上下料装置,包括活动板一,活动板二,夹具组件,所述的活动板一下方设有滑槽一,所述的滑槽一内安装有滑杆一,所述的滑杆一一端上设有安装块一,所述的安装块一上设有上安装有螺杆一,所述的螺杆一一端安装在固定座一上,所述的固定座一安装在活动板一的下方,所述的螺杆一另一端与差速器一连接,所述的差速器一与正反转电机一连接,所述的活动板一上方设有滑槽二,所述的滑槽二内安装有滑杆二,所述的滑杆二一端上设有安装块二,所述的安装块二上设有上安装有螺杆二,所述的螺杆二一端安装在固定座二上,所述的固定座二安装在活动板一的下方,所述的螺杆二另一端与差速器二连接,所述的差速器二与正反转电机二连接,所述的活动板二上阵列有四个槽口,所述的槽口内安装有转轴,所述的转轴上安装有夹具组件,所述夹具组件包括夹板一,夹板二和夹板三,所述的夹板一的厚度小于夹板二,所述的夹板二的厚度小于夹板三,所述的夹板一,夹板二和夹板三安装在转轴上,所述的夹板一在夹板二内,所述的夹板一,夹板二在夹板三内,所述的活动板二下方连接有螺杆三,所述的螺杆三与差速器三连接,所述的差速器三与正反转电机三连接。
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