[实用新型]一种芯粒测试装置有效
申请号: | 201821514511.5 | 申请日: | 2018-09-17 |
公开(公告)号: | CN209070070U | 公开(公告)日: | 2019-07-05 |
发明(设计)人: | 王元;蔡家豪;陈辉;邓庆武;邱智中;蔡吉明 | 申请(专利权)人: | 安徽三安光电有限公司 |
主分类号: | G01R31/26 | 分类号: | G01R31/26 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 241000 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 本实用新型涉一种芯粒测试装置,用于测量芯粒的光、电性能参数,其至少包括机架、放置芯粒的具有导电功能的导电板、积分球收光器和CCD扫描仪、第一寻边器和第二寻边器、显示器和光纤,所述第一寻边器中设置有用于直接接触电极的探针,所述第二寻边器中探针的端部设置有一光反射装置。本实用新型通过对点测芯粒增加光反射装置,增强测点的光强,提高点测准确性和点测速度。 | ||
搜索关键词: | 寻边器 本实用新型 光反射装置 测试装置 芯粒 种芯 电性能参数 导电功能 测量芯 导电板 积分球 收光器 中探针 电极 测点 光强 探针 显示器 光纤 | ||
【主权项】:
1.一种芯粒测试装置,用于测量芯粒的光、电性能参数,其至少包括机架、放置芯粒的具有导电功能的导电板、积分球收光器和CCD扫描仪、第一寻边器和第二寻边器、显示器和光纤,所述导电板设置于机架上,所述积分球收光器和CCD扫描仪设置于所述导电板的上方,第二寻边器和第二寻边器分别设置于导电板的两侧,所述CCD扫描仪与所述积分球收光器相连,所述光纤连接所述显示器和所述积分球收光器,其特征在于:所述第一寻边器中设置有用于直接接触电极的探针,所述第二寻边器末端设置有一支撑杆,支撑杆的另一端部设置有一光反射装置。
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