[实用新型]一种硅片制绒装置有效
| 申请号： | 201821526575.7 | 申请日： | 2018-09-18 |
| 公开（公告）号： | CN208862003U | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 崔水炜;万肇勇;黄登强;吴章平 | 申请（专利权）人： | 苏州昊建自动化系统有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/67;H01L31/0236 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 马吉兰 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种硅片制绒装置，包括：架体、输液装置和喷淋装置，架体具有凹槽；输液装置固定在架体上；喷淋装置设置在凹槽上方，两端分别与输液装置的两端连通并具有多个间隔均匀的喷淋孔，喷淋装置的延伸方向与硅片的运动方向互相垂直。本实用新型提供的硅片制绒装置克服了不同轨道工位上的硅片的减薄量不均匀、反应不到位的缺陷。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片制绒 喷淋装置 输液装置 架体 本实用新型 硅片 互相垂直 间隔均匀 两端连通 不均匀 减薄量 喷淋孔 工位 延伸 轨道 | ||
【主权项】：
1.一种硅片制绒装置，其特征在于，包括：架体(10)，具有凹槽；输液装置，固定在所述架体(10)上；喷淋装置(20)，设置在所述凹槽上方，两端分别与所述输液装置的两端连通并具有多个间隔均匀的喷淋孔，所述喷淋装置(20)的延伸方向与硅片(50)的运动方向互相垂直。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
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