[实用新型]晶圆盒充气系统

摘要

一种晶圆盒充气系统，包括连接一充气平台的主进气管路，该主进气管路的另一端利用一第一分支进气管路及一第二分支进气管路分别连接一干燥空气源及一氮气源，使其在晶圆制程进行的较长时间中可藉由该第一分支进气管路将价格较便宜的干燥空气导入该晶圆盒之中以有效去除晶圆的水分，而在晶圆制程结束该晶圆盒关闭后的较短时间中可藉由该第二分支进气管路将价格昂贵的氮气导入该晶圆盒之中，使其持续去除晶圆的水分以及产生良好去氧化效果；藉此使其具有降低成本、提高安全性及兼具良好干燥与保存效果等功效。

主权项

1.一种晶圆盒充气系统，其包括一充气平台以承载一晶圆盒；其特征在于，还包括一进气管路、一出气管路及一控制系统；其中，该进气管路，包含一主进气管路、一第一分支进气管路及一第二分支进气管路；该主进气管路的一端连接该充气平台，可供藉由该充气平台将气体导入该晶圆盒之中；该第一分支进气管路的一端连接该主进气管路的另一端，另一端连接一干燥空气源，可由该干燥空气源将干燥空气导入该主进气管路；该第二分支进气管路的一端连接该主进气管路的另一端，另一端连接一氮气源，可由该氮气源将氮气导入该主进气管路；该出气管路，其一端连接该充气平台，另一端连接一厂务抽气系统，以将晶圆盒中的气体透过该充气平台及经该厂务抽气系统排出；该控制系统，在该晶圆制程进行中该晶圆盒打开时控制该第二分支进气管路关闭与控制该第一分支进气管路导入干燥空气，并在晶圆制程结束该晶圆盒关闭时控制该第一分支进气管路关闭与控制该第二分支进气管路导入氮气。