[实用新型]一种柔性IGZO薄膜晶体管有效
| 申请号： | 201821543910.4 | 申请日： | 2018-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN209045571U | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 曾志远;钟祥桂;罗敬凯;张沈钧 | 申请（专利权）人： | 福建华佳彩有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/49 |
| 代理公司： | 福州市博深专利事务所(普通合伙) 35214 | 代理人： | 林志峥 |
| 地址： | 351100 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及晶体管技术领域，尤其涉及一种柔性IGZO薄膜晶体管，包括玻璃层、第一金属层、第一绝缘层、半导体层、第二绝缘层、第二金属层、第三绝缘层和第三金属层；通过在面板内的栅极区域增加第三金属层作为TFT器件的顶栅，替代现有技术中单栅极TFT结构器件，将第三金属层按第一铂层、钛层、第二铂层和金层依次层叠而成；这样能够有效提高膜晶体管的可靠度，使得液晶屏幕的显示更为精确且稳定。 | ||
| 搜索关键词： | 绝缘层 金属层 薄膜晶体管 铂层 本实用新型 第二金属层 第一金属层 晶体管技术 半导体层 结构器件 液晶屏幕 依次层叠 栅极区域 玻璃层 单栅极 可靠度 晶体管 顶栅 金层 钛层 替代 | ||
【主权项】：
1.一种柔性IGZO薄膜晶体管，其特征在于，包括玻璃层、第一金属层、第一绝缘层、半导体层、第二绝缘层、第二金属层、第三绝缘层和第三金属层；所述第一金属层、第一绝缘层、半导体层和第二绝缘层依次设置在玻璃层表面，所述第二绝缘层上设有两个的第一过孔，所述第二金属层填充于所述第一过孔中且与半导体层接触，所述第三绝缘层一侧面分别与第二金属层远离玻璃层的一侧面以及第二绝缘层远离玻璃层的一侧面接触，所述第三金属层与所述第三绝缘层另一侧面接触；所述第三金属层为层状结构且由第一铂层、钛层、第二铂层和金层依次层叠而成，所述第一铂层与所述第三绝缘层另一侧面接触。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于福建华佳彩有限公司，未经福建华佳彩有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821543910.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：半导体器件
- 下一篇：薄膜晶体管、像素结构、显示基板、显示面板和显示装置
- 同类专利
- 专利分类
