[实用新型]一种载板回传系统防护装置及其载板回传系统有效
| 申请号： | 201821546921.8 | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN208904048U | 公开（公告）日： | 2019-05-24 |
| 发明（设计）人： | 张军 | 申请（专利权）人： | 君泰创新(北京)科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L31/18 | 分类号： | H01L31/18;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京风雅颂专利代理有限公司 11403 | 代理人： | 张拥 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区亦*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种载板回传系统防护装置及其载板回传系统，该载板回传系统防护装置，包括：第一防护罩、第二防护罩、底板和盖板组件，所述第一防护罩和所述第二防护罩相对设置在载板回传系统的机架两侧，所述盖板组件的一端设置在所述第一防护罩顶部，所述盖板组件的另一端设置在所述第二防护罩顶部，所述底板设置在载板回传系统的机架上表面。本实用新型的载板回传系统，包括所述的载板回传系统防护装置。本实用新型的载板回传系统防护装置能够实现对载板回传系统上载板和硅片的保护，避免空气中的尘土的影响，对载板和硅片实现保护。 | ||
| 搜索关键词： | 回传系统 载板 防护装置 防护罩 本实用新型 盖板组件 底板 防护罩顶部 一端设置 硅片 相对设置 上表面 上载板 | ||
【主权项】：
1.一种载板回传系统防护装置，其特征在于，包括：第一防护罩(201)、第二防护罩(202)、底板(203)和盖板组件(204)，所述第一防护罩(201)和所述第二防护罩(202)相对设置在载板回传系统的机架(103)两侧，所述盖板组件(204)以活动的方式分别固定于所述第一防护罩(201)顶部和所述第二防护罩(202)顶部，所述底板(203)设置在载板回传系统的机架(103)上表面。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射，或微粒辐射敏感的，并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件；专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的，例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的，一个或多个电光源，如场致发光光源在结构上相连的，并与其电光源在电气上或光学上相耦合的
