[实用新型]离子植入设备有效
| 申请号： | 201821548872.1 | 申请日： | 2018-09-20 |
| 公开（公告）号： | CN208848853U | 公开（公告）日： | 2019-05-10 |
| 发明（设计）人： | 刘凯;倪明明;吴宗祐;林宗贤 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01J37/30 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 该实用新型涉及一种离子植入设备，包括腔体和石墨件，其中，所述腔体的腔体壁上设置有轨道，所述轨道的一端连通到所述腔体的出口处；所述石墨件安装至所述轨道，并能够沿所述轨道滑动。本实用新型中的离子植入设备的腔体壁上设置有连通到所述离子植入设备的腔体出口的轨道，且所述离子植入设备的石墨件安装到所述轨道，能够沿所述轨道运动至腔体出口处，因此，即使石墨件发生形变，也可将所述石墨件从所述腔体轻易拉出，以完成对离子植入设备的预防保养，提高离子植入设备预防保养的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 离子植入设备 石墨件 腔体 轨道 腔体壁 连通 保养 本实用新型 轨道运动 腔体出口 滑动 形变 拉出 预防 | ||
【主权项】：
1.一种离子植入设备，其特征在于，包括腔体和石墨件，其中，所述腔体的腔体壁上设置有轨道，所述轨道的一端连通到所述腔体的出口处；所述石墨件安装至所述轨道，并能够沿所述轨道滑动。
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