[实用新型]用于支撑边缘环的载体和机械叶片

摘要

本公开内容的各个方面总体上涉及用于支撑边缘环的载体和机械叶片。在一个方面中，公开一种用于支撑边缘环的载体，载体包括板，第一多个插口，第二多个插口，第一弓形支撑结构，第二弓形支撑结构。在其他方面，公开了用于支撑载体的机械叶片，包括基部，两个指状物，基部载体接合特征，指状物载体接合特征。在另一方面中，公开一种用于在脱气腔室中支撑载体的支撑结构。

主权项

1.一种用于支撑边缘环的载体，其特征在于，所述载体包括：板，具有周边，所述周边包括两个相对的弯曲边缘；第一多个插口，设置在所述板中，其中每个插口被配置为在所述插口中接收升降杆；第二多个插口，设置在所述板中，其中每个插口被配置为接合支撑结构；第一弓形支撑结构，耦接到所述两个相对的弯曲边缘中的一个，所述第一弓形支撑结构在所述板的上表面的平面上方延伸；和第二弓形支撑结构，耦接到所述两个相对的弯曲边缘中的另一个，所述第二弓形支撑结构在所述板的所述上表面的所述平面上方延伸。