[实用新型]光刻胶喷涂装置有效
| 申请号： | 201821555028.1 | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN208969424U | 公开（公告）日： | 2019-06-11 |
| 发明（设计）人： | 陈冬;张宇;杨维 | 申请（专利权）人： | 深圳市致行科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518057 广东省深圳市南山区粤*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体制备领域，针对光刻胶结晶的问题，提供了一种光刻胶喷涂装置，该技术方案如下：包括基座、工作台、主支架，主支架上设有喷头，基座上设有储液瓶，喷头包括与储液瓶连通的储液管，储液管一端朝向工作台，储液管朝向工作台的端部连接有覆盖储液管管口的挡板，挡板上开有若干喷液孔，挡板上滑动连接有隔断板，隔断板上开有若干过渡孔，过渡孔与喷液孔一一对应，储液管设有驱动隔断板滑动以使过渡孔与喷液孔正对或相错的驱动组件。喷涂完毕后，通过隔断板与挡板配合封闭储液管，使得储液管内的光刻胶的溶剂难以挥发，进而减少光刻胶结晶的情况，减少光刻胶结晶导致无法使用的情况，减少浪费。 | ||
| 搜索关键词： | 储液管 挡板 隔断板 光刻胶 过渡孔 喷液孔 工作台 光刻胶喷涂装置 喷头 储液瓶 主支架 半导体制备 本实用新型 端部连接 滑动连接 驱动组件 滑动 溶剂 储液 挥发 喷涂 相错 正对 连通 驱动 封闭 覆盖 配合 | ||
【主权项】：
1.一种光刻胶喷涂装置，其特征是：包括基座(1)，所述基座(1)上设有工作台(2)，还包括沿水平方向滑动的主支架(3)，所述主支架(3)上沿垂直于主支架(3)滑动方向的水平方向滑动连接有喷头(5)，所述基座(1)上设有驱动主支架(3)滑动的主驱动件(31)以及驱动喷头(5)滑动的副驱动件(41)，所述基座(1)上设有储液瓶(7)，所述喷头(5)包括与储液瓶(7)连通的储液管(51)，所述储液管(51)一端朝向工作台(2)，所述储液管(51)朝向工作台(2)的端部连接有覆盖储液管(51)管口的挡板(52)，所述挡板(52)上开有若干喷液孔(521)，所述挡板(52)上滑动连接有隔断板(53)，所述隔断板(53)上开有若干过渡孔(531)，所述过渡孔(531)与喷液孔(521)一一对应，所述储液管(51)设有驱动隔断板(53)滑动以使过渡孔(531)与喷液孔(521)正对或相错的驱动组件(9)，所述储液瓶(7)设有投料口以及封闭投料口的瓶盖(73)，所述基座(1)还设有对储液瓶(7)加压的抽气装置(8)。
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