[实用新型]旋转阴极和真空磁控溅射镀膜设备有效
| 申请号： | 201821557493.9 | 申请日： | 2018-09-21 |
| 公开（公告）号： | CN209144248U | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 盛林;高文波 | 申请（专利权）人： | 广东生波尔光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所 44287 | 代理人： | 胡海国;唐文波 |
| 地址： | 528400 广东省中山市板芙镇*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型公开一种旋转阴极和真空磁控溅射镀膜设备，其中，所述旋转阴极包括阴极靶端头、轴承和第一密封圈。所述阴极靶端头的上端面设置有第一安装槽。所述轴承安装在所述第一安装槽内，所述轴承与所述安装槽的槽底之间通过多个安装固定点进行连接；所述轴承的下端面设置有第一环槽，多个安装固定点位于所述第一环槽的外周。所述第一密封圈安装在所述第一环槽内，所述第一密封圈抵接所述第一安装槽的槽底。本实用新型技术方案提高了旋转阴极的阴极端的防漏水的效果。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转阴极 安装槽 密封圈 环槽 轴承 真空磁控溅射镀膜 本实用新型 阴极靶 端头 阴极 安装固定点 安装固定 轴承安装 防漏水 上端面 下端面 抵接 点位 外周 | ||
【主权项】：
1.一种旋转阴极，其特征在于，包括：阴极靶端头，所述阴极靶端头的上端面设置有第一安装槽；轴承，所述轴承安装在所述第一安装槽内，所述轴承与所述安装槽的槽底之间通过多个安装固定点进行连接；所述轴承的下端面设置有第一环槽，多个安装固定点位于所述第一环槽的外周；第一密封圈，所述第一密封圈安装在所述第一环槽内，所述第一密封圈抵接所述第一安装槽的槽底。
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