[实用新型]电阻式薄膜压力传感器有效
| 申请号： | 201821579503.9 | 申请日： | 2018-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN208872439U | 公开（公告）日： | 2019-05-17 |
| 发明（设计）人： | 罗海涛 | 申请（专利权）人： | 深圳市慧力迅科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/20 | 分类号： | G01L1/20;G01L9/02 |
| 代理公司： | 深圳市沃德知识产权代理事务所(普通合伙) 44347 | 代理人： | 于志光 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市宝安*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 一种电阻式电阻式薄膜压力传感器，包括第一导电结构、第二导电结构、以及设置于第一导电结构与第二导电结构之间的隔离结构，所述第一导电结构包括第一基材、形成于第一基材上的导电线路层、以及覆盖于所述导电线路层上的高阻碳油层，所述第二导电结构包括第二基材、以及形成于第二基材上的低阻碳油层，所述导电线路层包括两分离设置的弧形引线，两引线围成有内部空间，所述隔离结构形成有对应内部空间的若干第一开口，所述第一开口分别沿引线的径向延伸，受压时低阻碳油层与高阻碳油层在对应所述第一开口位置处形成接触，导通两引线，本实用新型电阻式薄膜压力传感器线性更好、精准度高、稳定性更佳，压力感应范围更大、更耐磨、抗氧化好。 | ||
| 搜索关键词： | 导电结构 电阻式 碳油层 基材 薄膜压力传感器 导电线路层 隔离结构 低阻 高阻 开口 本实用新型 分离设置 径向延伸 开口位置 压力感应 精准度 抗氧化 受压时 导通 耐磨 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种电阻式薄膜压力传感器，包括第一导电结构、第二导电结构、以及设置于第一导电结构与第二导电结构之间的隔离结构，其特征在于：所述第一导电结构包括第一基材、形成于第一基材上的导电线路层、以及覆盖于所述导电线路层上的高阻碳油层，所述第二导电结构包括第二基材、以及形成于第二基材上的低阻碳油层，所述导电线路层包括两分离设置的弧形引线，两引线围成有内部空间，所述隔离结构形成有对应内部空间的若干第一开口，所述第一开口分别沿引线的径向延伸，受压时低阻碳油层与高阻碳油层在对应所述第一开口位置处形成接触，导通两引线。
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