[实用新型]顶针结构有效
| 申请号： | 201821582811.7 | 申请日： | 2018-09-27 |
| 公开（公告）号： | CN208737220U | 公开（公告）日： | 2019-04-12 |
| 发明（设计）人： | 邢磊 | 申请（专利权）人： | 长鑫存储技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市合肥*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种顶针结构，包括：顶针柱；第一顶针帽，与顶针柱的顶部相连接；第二顶针帽，位于第一顶针帽的上方及外围，且与第一顶针帽或顶针柱可拆卸连接。本实用新型的顶针结构通过在顶针柱的顶部设置第一顶针帽及第二顶针帽两个顶针帽，且第二顶针帽位于第一顶针帽的上方及外围，并与第一顶针帽或顶针柱可拆卸连接；在初始使用时，第二顶针帽用于支撑晶圆，当第二顶针帽磨损时，将第二顶针帽取下，即可使用第一顶针帽支撑晶圆；本实用新型的顶针结构既可满足设备端对晶圆支撑的需求，又可以在位于外部的第二顶针帽磨损时使用第一顶针帽继续工作，不影响正常跑货生产，从而提高产能。 | ||
| 搜索关键词： | 顶针帽 顶针柱 顶针结构 本实用新型 晶圆 可拆卸连接 磨损 支撑 外围 顶部设置 设备端 产能 取下 外部 生产 | ||
【主权项】：
1.一种顶针结构，其特征在于，所述顶针结构包括：顶针柱；第一顶针帽，与所述顶针柱的顶部相连接；第二顶针帽，位于所述第一顶针帽的上方及外围，且与所述第一顶针帽或所述顶针柱可拆卸连接。
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