[实用新型]电镀装置有效
申请号: | 201821587671.2 | 申请日: | 2018-09-28 |
公开(公告)号: | CN209052784U | 公开(公告)日: | 2019-07-02 |
发明(设计)人: | 王振荣;戴志文 | 申请(专利权)人: | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
主分类号: | C25D17/00 | 分类号: | C25D17/00;C25D17/02;C25D21/18 |
代理公司: | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人: | 李强 |
地址: | 201616 *** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型公开了一种电镀装置,包括电镀槽、回收槽以及至少两个储液槽,两个所述储液槽分别存有不同的电镀液且分别通过各自的进液管与所述电镀槽连通,所述回收槽通过回收管与所述电镀槽连通。本实用新型所提供的电镀装置可提供不同电镀液且可进行回收。 | ||
搜索关键词: | 电镀装置 电镀槽 本实用新型 储液槽 电镀液 回收槽 连通 回收管 进液管 回收 | ||
【主权项】:
1.一种电镀装置,其特征在于,包括电镀槽、回收槽以及至少两个储液槽,两个所述储液槽分别存有不同的电镀液且分别通过各自的进液管与所述电镀槽连通,所述回收槽通过回收管与所述电镀槽连通。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海新阳半导体材料股份有限公司,未经上海新阳半导体材料股份有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/201821587671.2/,转载请声明来源钻瓜专利网。