[实用新型]红外探测器用带通滤光片有效
申请号: | 201821592676.4 | 申请日: | 2018-09-28 |
公开(公告)号: | CN208737033U | 公开(公告)日: | 2019-04-12 |
发明(设计)人: | 单森林 | 申请(专利权)人: | 森霸传感科技股份有限公司 |
主分类号: | G02B5/20 | 分类号: | G02B5/20;G02B1/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 473300*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 一种红外探测器用8—14μm红外带通滤光片,包括前表面膜系、基底、后表面膜系(如图1),前表面及后表面膜系均由锗材料和硫化锌材料相互叠加而成。其在工作波段8—14μm内具有高的透过率,而在其他波段截止。与传统滤光片相比具有透过率高,截止深度高的特点,配合红外探测器使用,有益的提高了传感器的信噪比及其使用效果。 | ||
搜索关键词: | 红外探测器 膜系 后表面 前表面 透过率 红外带通滤光片 截止 带通滤光片 硫化锌材料 传统滤光 工作波段 信噪比 锗材料 传感器 波段 基底 叠加 配合 | ||
【主权项】:
1.一种红外探测器用8—14微米红外带通滤光片,其特征在于:包括基底,前表面膜系及后表面膜系,其中基底为硅片,前表面膜系是锗Ge材料和硫化锌ZnS材料相互叠加蒸镀而成的48层膜系,后表面膜系是锗Ge材料和硫化锌ZnS材料相互叠加蒸镀而成的13层膜系。
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