[实用新型]基片载板及具有该基片载板的MOCVD设备

摘要

本实用新型涉及太阳能电池制造设备技术领域，尤其涉及一种基片载板及具有该基片载板的MOCVD设备。该基片载板包括第一基板和第二基板，第一基板和第二基板对设的侧边上分别设有插头部和插座部，第一基板和第二基板之间通过插头部和插座部相对的插接组合；基于该基片载板提出了一种MOCVD设备。该基片载板利用拼接结构将多块基板通过拼装连接为一体，可以有效解决大尺寸基片载板加工难度大的问题，在保证载板拼接结构强度的同时，降低加工成本，提高加工效率，有助于提升芯片产能，并且该基片载板的使用强度能够得到有效保证，同时具有较小的变形量，能够很好的应用在MOCVD设备中，从而确保工艺质量满足要求。

主权项

1.一种基片载板，其特征在于，包括第一基板和第二基板，所述第一基板和第二基板对设的侧边上分别设有插头部和插座部，所述第一基板和所述第二基板之间通过所述插头部和所述插座部相对的插接组合。