[实用新型]石墨舟组件有效
| 申请号： | 201821619886.8 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN209024642U | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 邓伟;张建峰;王森;朱元 | 申请（专利权）人： | 盐城阿特斯协鑫阳光电力科技有限公司;苏州阿特斯阳光电力科技有限公司;阿特斯阳光电力集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458;C23C16/513 |
| 代理公司： | 苏州威世朋知识产权代理事务所(普通合伙) 32235 | 代理人： | 杨林洁 |
| 地址： | 224400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种石墨舟组件，包括用于装载硅片的石墨舟及用于支撑转动石墨舟的支撑座，所述石墨舟内具有沿第一方向间隔设置的若干石墨舟片，所述支撑座具有水平设置的支架及用于在第一方向驱动石墨舟转动的驱动机构，所述石墨舟片被驱动机构驱动而相较于水平面倾斜设置，使得硅片向下放入时可抵接到石墨舟片并沿石墨舟片表面向下滑入石墨舟内。如此设置，利用硅片自由落体的形式，降低掉片概率。 | ||
| 搜索关键词： | 石墨舟 石墨舟片 硅片 支撑座 转动 被驱动机构 本实用新型 方向间隔 方向驱动 倾斜设置 驱动机构 水平设置 自由落体 掉片 支架 装载 下放 驱动 概率 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种石墨舟组件，其特征在于：包括用于装载硅片的石墨舟及用于支撑转动石墨舟的支撑座，所述石墨舟内具有沿第一方向间隔设置的若干石墨舟片，所述支撑座具有水平设置的支架及用于在第一方向驱动石墨舟转动的驱动机构，所述石墨舟片被驱动机构驱动而相较于水平面倾斜设置，使得硅片向下放入时可抵接到石墨舟片并沿石墨舟片表面向下滑入石墨舟内。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
