[实用新型]硅片载料舟

摘要

本实用新型公开了一种硅片载料舟，用于原子层沉积装置，设置于门体组件上，门体组件包括第二门板。硅片载料舟包括载舟板和端板，载舟板固定连接第二门板，端板在载舟板的宽度方向上间隔设置在载舟板的两侧。载舟板上位于端板之间设置有第一固定杆，端板之间设置有第二固定杆，第一固定杆上开设有多个水平设置的第一固定槽，第二固定杆上开设有多个竖直设置的第二固定槽，相邻的第一固定杆和第二固定杆上的第一固定槽和第二固定槽相对应。本案中的硅片载料舟中，通过第一固定杆上的第一固定槽和第二固定杆上的第二固定槽共同作用，从多个方向将硅片稳定限制在载料舟上，避免载料舟移动过程中硅片发生位移，相互碰撞造成损坏。

主权项

1.一种硅片载料舟，用于原子层沉积装置，设置于门体组件上，所述门体组件包括第二门板，其特征在于，所述硅片载料舟包括载舟板和端板，所述载舟板固定连接所述第二门板，所述端板在所述载舟板的宽度方向上间隔设置在所述载舟板的两侧，所述载舟板上位于所述端板之间设置有第一固定杆，所述端板之间设置有第二固定杆，所述第一固定杆上开设有多个水平设置的第一固定槽，所述第二固定杆上开设有多个竖直设置的第二固定槽，相邻的所述第一固定杆和所述第二固定杆上的所述第一固定槽和所述第二固定槽相对应。