[实用新型]一种晶圆检测系统

摘要

本实用新型提供了一种晶圆检测系统，用于对晶圆传送盒内的晶圆进行检测，包括晶圆传送盒、数字图像处理模块及一沿重力方向延伸设置的机械手臂，机械手臂上包括第一图像采集模块，第一图像采集模块用于在机械手臂运动到设定位置时，采集晶圆传送盒内的所有晶圆的一侧的图像数据，晶圆传送盒的内侧壁上，设置有用于采集所有晶圆的另一侧的图像数据的第二图像采集模块，数字图像处理模块用于分别将第一图像采集模块和第二图像采集模块采集的图像数据与参考图像数据进行比对，判定晶圆传送盒内的晶圆的位置及形变程度。提高了晶圆检测系统的准确性，提高了生产效率。从而节省了工时，提高了产能。

主权项

1.一种晶圆检测系统，用于对晶圆传送盒内的晶圆进行检测，其特征在于，包括晶圆传送盒、数字图像处理模块及一沿重力方向延伸设置的机械手臂，所述机械手臂上包括第一图像采集模块，所述第一图像采集模块用于在所述机械手臂运动到设定位置时采集所述晶圆传送盒内的所有晶圆的第一图像数据；所述晶圆传送盒的内侧壁上设置有用于采集所有所述晶圆的第二图像数据的第二图像采集模块；所述第一图像数据为靠近所述机械手臂一侧的所述晶圆的图像数据；所述第二图像数据为远离所述机械手臂一侧的其余的所述晶圆的图像数据；所述第一图像采集模块和所述第二图像采集模块分别连接于所述数字图像处理模块，所述数字图像处理模块中存储有参考图像数据，所述数字图像处理模块用于分别将所述第一图像数据和所述第二图像数据与所述参考图像数据进行比对，并判定所述晶圆传送盒内的所述晶圆的位置及形变程度。