[实用新型]用于原子层沉积装置的双层门体组件

摘要

本实用新型公开了一种用于原子层沉积装置的双层门体组件，包括第一门板和第二门板，第一门板包括内侧面和外侧面，第二门板位于内侧面一侧且和第一门板间隔形成安装空间，第二门板在内侧面所在平面上的正投影位于内侧面上。位于安装空间内的内侧面上设置有加热板。连接杆活动穿设第一门板连接第二门板，外侧面上设置有导杆，调节板滑动设置在导杆上，连接杆连接调节板。调节板和外侧面之间设置有驱动气缸，驱动气缸连接调节板。本实用新型实施方式中，驱动气缸带动调节板运动，进而带动第二门板相对第一门板运动，在双层门体组件和大小腔室结构配合的时候，第二门板能和小腔室配合更紧密，提高小腔室内的密封性。

主权项

1.一种用于原子层沉积装置的双层门体组件，其特征在于，包括第一门板和第二门板，所述第一门板包括内侧面和外侧面，所述第二门板位于所述内侧面一侧且和所述第一门板间隔形成安装空间，所述第二门板在所述内侧面所在平面上的正投影位于所述内侧面上，位于所述安装空间内的所述内侧面上设置有加热板，连接杆活动穿设所述第一门板连接所述第二门板，所述外侧面上设置有导杆，调节板滑动设置在所述导杆上，所述连接杆连接所述调节板，所述调节板和所述外侧面之间设置有驱动气缸，所述驱动气缸连接所述调节板。