[实用新型]一种薄膜旋涂系统有效
| 申请号： | 201821626572.0 | 申请日： | 2018-10-08 |
| 公开（公告）号： | CN209093783U | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 陈晨;毕恩兵;黎星宇;陈汉 | 申请（专利权）人： | 上海黎元新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | B05C5/02 | 分类号： | B05C5/02;B05C11/08;B05C11/10 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 党晓林;陈烨 |
| 地址： | 201400 上海市奉*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种薄膜旋涂系统，包括：用于旋涂进料溶液的旋涂仪，所述旋涂仪上设置有基片；进料装置，所述进料装置用于向所述旋涂仪提供进料溶液，其包括：注射模块和用于向所述注射模块提供预定量的进料溶液的供液机构；所述注射模块包括：用于容纳进料溶液的枪头，所述枪头上设置有出口；用于将所述进料溶液以预定速度从所述出口推射至所述基片中心的推射机构。本申请提供的薄膜旋涂系统能精确控制进料溶液的输出流量，获得厚度均一的薄膜，从而较佳地满足薄膜制备的要求。 | ||
| 搜索关键词： | 进料溶液 薄膜 旋涂系统 旋涂仪 注射 进料装置 薄膜制备 供液机构 厚度均一 基片中心 模块提供 输出流量 枪头 旋涂 申请 出口 容纳 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜旋涂系统，其特征在于，包括：用于旋涂进料溶液的旋涂仪，所述旋涂仪上设置有基片；进料装置，所述进料装置用于向所述旋涂仪提供进料溶液，所述进料装置包括：注射模块和用于向所述注射模块提供预定量的进料溶液的供液机构；所述注射模块包括：用于容纳进料溶液的枪头，所述枪头上设置有出口，用于将所述进料溶液以预定速度从所述出口推射至所述基片中心的推射机构。
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