[实用新型]一种单晶炉用的对中调节装置有效
申请号: | 201821628048.7 | 申请日: | 2018-10-08 |
公开(公告)号: | CN209114036U | 公开(公告)日: | 2019-07-16 |
发明(设计)人: | 王维 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创真空技术有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B15/02 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 魏雪梅;麻雪梅 |
地址: | 100015 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及单晶炉技术领域,公开了一种单晶炉用的对中调节装置,包括底板;调平座板设置在底板的上方并与底板纵向相对设置并且间隔开,在调平座板的外边沿构造有纵向调节孔;焊接波纹管;座板支撑设置在底板和调平座板之间并位于焊接波纹管的外侧,调平座板的外边沿搭接在座板支撑的上端面,在座板支撑的上端面的外侧边沿构造有止挡部,在止挡部的内部构造有开口朝向调平座板的外侧面的横向通孔;平面调节部件设置在横向通孔内并能调节调平座板在水平面内的前、后、左以及右方向上的运动;以及纵向调节部件设置在纵向调节孔内并能调节调平座板的纵向位置。该对中调节装置具有使得提拉头、软轴以及坩埚轴的对中性好和单晶的产率高的优点。 | ||
搜索关键词: | 座板 调平 对中调节装置 底板 单晶炉 焊接波纹管 纵向调节孔 部件设置 横向通孔 板支撑 外边沿 止挡部 本实用新型 底板纵向 内部构造 平面调节 相对设置 纵向调节 纵向位置 对中性 上端面 坩埚轴 上端 产率 搭接 单晶 软轴 提拉 开口 支撑 | ||
【主权项】:
1.一种单晶炉用的对中调节装置,其特征在于,包括:底板;调平座板,设置在所述底板的上方并与所述底板纵向相对设置并且间隔开,在所述调平座板的外边沿构造有纵向调节孔;焊接波纹管,设置在所述底板和所述调平座板之间;座板支撑,设置在所述底板和所述调平座板之间并位于所述焊接波纹管的外侧,所述调平座板的外边沿搭接在所述座板支撑的上端面,在所述座板支撑的上端面的外侧边沿构造有止挡部,在所述止挡部的内部构造有开口朝向所述调平座板的外侧面的横向通孔;平面调节部件,设置在所述横向通孔内并能调节所述调平座板在水平面内的前、后、左以及右方向上的运动;以及纵向调节部件,设置在所述纵向调节孔内并能调节所述调平座板的纵向位置。
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