[实用新型]图形补偿装置、图形补偿系统、曝光机及彩膜工艺设备有效
| 申请号： | 201821651234.2 | 申请日： | 2018-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN208780989U | 公开（公告）日： | 2019-04-23 |
| 发明（设计）人： | 汪杰 | 申请（专利权）人： | 东旭（昆山）显示材料有限公司;东旭集团有限公司;东旭科技集团有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02B27/00 |
| 代理公司： | 北京润平知识产权代理有限公司 11283 | 代理人： | 肖冰滨;王晓晓 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州市昆山市开*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型实施例提供一种图形补偿装置、图形补偿系统、曝光机及彩膜工艺设备，属于光学成像领域。该图形补偿装置包括：第一光线变换模块，用于改变平行入射至第一光线变换模块的光线的方向；第二光线变换模块，用于改变第一光线变换模块的出射光线的方向；以及第三光线变换模块，用于将入射至第三光线变换模块的光线平行射出，其中，第三光线变换模块的出射光线形成的图形相对于第一光线变换模块的入射光线形成的图形放大或缩小，以实现图形补偿。藉此，实现了调整平行入射的光线，实现图形补偿，扩大了图形补偿装置的应用范围。 | ||
| 搜索关键词： | 光线变换 补偿装置 入射 补偿系统 出射光线 工艺设备 曝光机 彩膜 平行 本实用新型 光线平行 光学成像 入射光线 图形放大 射出 应用 | ||
【主权项】：
1.一种图形补偿装置，其特征在于，该图形补偿装置包括：第一光线变换模块，用于改变平行入射至所述第一光线变换模块的光线的方向；第二光线变换模块，所述第一光线变换模块的出射光线为所述第二光线变换模块的入射光线，用于改变所述第一光线变换模块的出射光线的方向；以及第三光线变换模块，所述第二光线变换模块的出射光线为所述第三光线变换模块的入射光线，用于将入射至所述第三光线变换模块的光线平行射出，其中，所述第三光线变换模块的出射光线形成的图形相对于所述第一光线变换模块的入射光线形成的图形放大或缩小，以实现图形补偿。
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