[实用新型]一种单晶炉加热器有效
申请号: | 201821661911.9 | 申请日: | 2018-10-15 |
公开(公告)号: | CN209024677U | 公开(公告)日: | 2019-06-25 |
发明(设计)人: | 王永和;孟涛;王海庆 | 申请(专利权)人: | 包头美科硅能源有限公司 |
主分类号: | C30B15/14 | 分类号: | C30B15/14;C30B29/06 |
代理公司: | 南京利丰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 32256 | 代理人: | 任立 |
地址: | 010000 内蒙古自治区*** | 国省代码: | 内蒙古;15 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种单晶炉加热器,涉及单晶硅制备技术领域,包括加热器本体以及加热电源,所述加热器本体包括若干个竖直环形排列的加热板,若干个所述加热板通过上连接板以及下连接板依次连接,所述加热器本体下端设置有用于与加热电源连接的连接座,所述连接座上开设有螺纹孔,所述螺纹孔内设置有加热器螺栓,所述连接座上设置有用于将加热器螺栓包覆的螺栓护盖。本实用新型中设置有螺栓护盖,螺栓护盖将加热器螺栓包覆住,隔绝了硅蒸汽,避免硅蒸汽直接与加热器螺栓接触,从而避免了加热器螺栓被硅蒸汽粘死,降低了加热器本体的拆取时间。 | ||
搜索关键词: | 螺栓 加热器 加热器本体 硅蒸汽 连接座 护盖 本实用新型 加热电源 单晶炉 加热板 螺纹孔 制备技术领域 单晶硅 环形排列 上连接板 下连接板 依次连接 包覆的 包覆 竖直 下端 | ||
【主权项】:
1.一种单晶炉加热器,包括加热器本体(1)以及加热电源,所述加热器本体(1)包括若干个竖直环形排列的加热板(2),若干个所述加热板(2)通过上连接板(3)以及下连接板(4)依次连接,所述加热器本体(1)下端设置有用于与加热电源连接的连接座(5),所述连接座(5)上开设有螺纹孔(6),所述螺纹孔(6)内设置有加热器螺栓(7),其特征在于:所述连接座(5)上设置有用于将加热器螺栓(7)包覆的螺栓护盖(8)。
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