[实用新型]一种连续式磁控溅射镀膜装置有效
| 申请号： | 201821663180.1 | 申请日： | 2018-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN209412301U | 公开（公告）日： | 2019-09-20 |
| 发明（设计）人： | 来华杭;娄国明;江嘉;李赢 | 申请（专利权）人： | 浙江上方电子装备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 杭州合信专利代理事务所(普通合伙) 33337 | 代理人： | 黄平英 |
| 地址： | 浙江省绍*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种连续式磁控溅射镀膜设备，包括：侧壁具有物料输送口的真空室；密封所述物料输送口可的翻板阀，具有绕转轴可翻转的阀板；通过若干连杆与所述侧壁活动连接的压条，所述压条沿其长度方向移动时靠近或远离所述阀板，并在翻板阀关闭时压紧所述阀板。本实用新型镀膜设备阀板与物料输送口密封配合，并利用压条压紧，相对于现有翻板阀结构简单，密封性能更加优良。 | ||
| 搜索关键词： | 阀板 压条 物料输送口 本实用新型 翻板阀 连续式 侧壁 压紧 磁控溅射镀膜设备 磁控溅射镀膜装置 长度方向移动 翻板阀结构 镀膜设备 活动连接 可翻转的 密封配合 密封性能 真空室 转轴 密封 | ||
【主权项】：
1.一种连续式磁控溅射镀膜设备，其特征在于，包括：侧壁具有物料输送口的真空室；密封所述物料输送口的翻板阀，具有绕转轴可翻转的阀板；通过若干连杆与所述侧壁活动连接的压条，所述压条沿其长度方向移动时靠近或远离所述阀板，并在翻板阀关闭时压紧所述阀板。
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