[实用新型]石英承载器

摘要

本实用新型提供了一种石英承载器，用于固定晶圆片，石英承载器包括：第一固定部、固定轴、第二固定部和固定槽；第一固定部的截面呈弧形；至少两个固定轴的一端与第一固定部的上表面相连接；第二固定部的截面呈弧形，且第二固定部的上表面与至少两个固定轴的另一端相连接；至少两个固定槽设置在固定轴上，且使晶圆片嵌于固定槽中，以将晶圆片固定；其中，相邻两个固定槽之间设置有间隔，且至少两个固定槽均匀设置在固定轴上。由于至少两个固定槽均匀设置固定轴上，以实现相邻两个嵌于固定槽中的晶圆片之间的距离相同，从而实现使多个晶圆片的散热效率相同，以避免多个晶圆片出现散热不均，进而提高晶圆片的散热效率。

主权项

1.一种石英承载器，用于固定晶圆片，其特征在于，所述石英承载器包括：第一固定部，所述第一固定部的截面呈弧形；固定轴，至少两个所述固定轴的一端与所述第一固定部的上表面相连接；第二固定部，所述第二固定部的截面呈弧形，且所述第二固定部的上表面与至少两个所述固定轴的另一端相连接；固定槽，至少两个所述固定槽设置在所述固定轴上，且使所述晶圆片嵌于所述固定槽中，以将所述晶圆片固定；其中，相邻两个所述固定槽之间设置有间隔，且至少两个所述固定槽均匀设置在所述固定轴上。