[实用新型]一种用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置有效
| 申请号： | 201821681272.2 | 申请日： | 2018-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN208977573U | 公开（公告）日： | 2019-06-14 |
| 发明（设计）人： | 谢鸿波;李智彪;黄晋强;郭勇文;权纪亮;刘军 | 申请（专利权）人： | 广州半导体材料研究所 |
| 主分类号： | B24B37/12 | 分类号： | B24B37/12;B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 510000 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置，包括止跌环、插销座、插销件和推拉机构，止跌环固定在上磨盘升降杆的外周侧面上，止跌环的直径大于上磨盘升降杆的直径，插销座上设置有贯穿其顶面和底面的中空窗，插销座顶面两侧边缘设置有插销槽，插销座通过插销座固定螺栓孔固定安装在研磨机龙门架的横梁下面，中空窗可使上磨盘升降杆和止跌环上下通过，插销件的端部为插销脚，两个插销脚的平行间距大于上磨盘升降杆的直径，并且小于止跌环的直径，推拉机构与插销件固定连接；该用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置可以有效地防止当气缸或其配套空气压缩系统出现意外事件时，上磨盘跌落对研磨机操作人员或有关物品带来损害。 | ||
| 搜索关键词： | 插销座 上磨盘 升降杆 双面研磨 插销件 硅晶片 磨盘 插销 推拉机构 中空窗 顶面 空气压缩系统 本实用新型 固定螺栓孔 研磨机操作 两侧边缘 外周侧面 意外事件 插销槽 龙门架 研磨机 有效地 横梁 气缸 跌落 平行 贯穿 配套 损害 | ||
【主权项】：
1.一种用于硅晶片双面研磨机上磨盘的止跌装置，其特征在于，包括止跌环、插销座、插销件和推拉机构，所述止跌环固定在上磨盘升降杆的外周侧面上，所述止跌环的直径大于上磨盘升降杆的直径，所述插销座上设置有贯穿其顶面和底面的中空窗，所述插销座顶面两侧边缘设置有插销槽，所述插销座通过插销座固定螺栓孔固定安装在研磨机龙门架的横梁下面，安装时，所述插销座的中空窗垂直对中于上磨盘升降杆的中轴线，所述中空窗可使上磨盘升降杆和止跌环上下通过，所述插销槽作为插销件的横向滑动轨道，所述插销件的端部为插销脚，所述插销脚呈分叉状，两个插销脚的平行间距大于上磨盘升降杆的直径，并且小于止跌环的直径，所述推拉机构与插销件固定连接，用于驱动插销件运动。
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