[实用新型]一种用于磊晶基板的刻蚀机台

摘要

本实用新型公开了一种用于磊晶基板的刻蚀机台,包括刻蚀机本体，刻蚀机本体包括第一通孔，第一通孔的底端侧壁设置有移动板，移动板的顶端焊接有对称设置的移动块，移动块相互靠近的一侧侧壁开设有第二通孔，第二通孔的内部设置有固定机构，固定机构包括滑动连接在第二通孔一侧侧壁的滑板，滑板的底端侧壁连接有海绵垫，滑板的顶端安装有与第二通孔顶端侧壁连接的弹簧。本实用新型能够对不同厚度的基板进行固定，便于对不同类型的基板进行刻蚀处理，能够根据需求对基板进行夹紧或松弛，便于工作人员进行取出或放入基板，而且能够根据刻蚀需求调节基板的位置，无需人工手动调节，避免了人工误差，提高了刻蚀精度。

主权项

1.一种用于磊晶基板的刻蚀机台，包括刻蚀机本体(1)，其特征在于，所述刻蚀机本体(1)包括第一通孔(2)，第一通孔(2)的底端侧壁设置有移动板(3)，移动板(3)的顶端焊接有对称设置的移动块(4)，移动块(4)相互靠近的一侧侧壁开设有第二通孔(5)，第二通孔(5)的内部设置有固定机构，固定机构包括滑动连接在第二通孔(5)一侧侧壁的滑板(6)，滑板(6)的底端侧壁连接有海绵垫(7)，所述滑板(6)的顶端安装有与第二通孔(5)顶端侧壁连接的弹簧(8)，所述移动板(3)的一侧侧壁开设有第一凹槽(12)，第一凹槽(12)的内部设置有调节机构，所述移动块(4)的外侧壁连接有第一滑轮(9)、第二滑轮(10)，且第一滑轮(9)、第二滑轮(10)均与移动块(4)垂直设置，所述移动板(3)的两侧外壁连接有第三滑轮(11)。