[实用新型]一种用于图案化蓝宝石基板的光学缺陷检查机有效

专利信息
申请号: 201821682118.7 申请日: 2018-10-17
公开(公告)号: CN208738198U 公开(公告)日: 2019-04-12
发明(设计)人: 陈景瑞;方灿杰 申请(专利权)人: 福建汉晶光电科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/66
代理公司: 广州京诺知识产权代理有限公司 44407 代理人: 沈威
地址: 363300 福建省*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 实用新型公开了一种用于图案化蓝宝石基板的光学缺陷检查机,包括检查机本体,检查机本体包括第一机体和第二机体,第一机体的一侧侧壁开设有第一通孔,第二机体的底端侧壁开设有第一凹槽,且第一凹槽与第一通孔内部连通,第一通孔的底端侧壁开设有第二凹槽,第二凹槽的内部设置有调节机构,第一通孔的底端侧壁安装有对称设置的移动板,移动板相互靠近的一侧侧壁两端焊接有连接杆,移动板相互靠近的一侧侧壁开设有放置槽。本实用新型能够对不同大小的基板进行放置检查,能够根据基板的大小调节挡板的位置,提高了实用性,而且能够根据检查需求,调节被检查的基板位置,具有随调随停的效果,操作简单。
搜索关键词: 检查机 通孔 底端侧壁 移动板 侧壁 本实用新型 蓝宝石基板 光学缺陷 图案化 基板 挡板 大小调节 对称设置 基板位置 两端焊接 内部连通 内部设置 检查 放置槽 连接杆
【主权项】:
1.一种用于图案化蓝宝石基板的光学缺陷检查机,包括检查机本体(1),其特征在于,所述检查机本体(1)包括第一机体(101)和第二机体(102),第一机体(101)的一侧侧壁开设有第一通孔(2),所述第二机体(102)的底端侧壁开设有第一凹槽(3),且第一凹槽(3)与第一通孔(2)内部连通,所述第一通孔(2)的底端侧壁开设有第二凹槽(5),第二凹槽(5)的内部设置有调节机构,所述第一通孔(2)的底端侧壁安装有对称设置的移动板(4),移动板(4)相互靠近的一侧侧壁两端焊接有连接杆(20),所述移动板(4)相互靠近的一侧侧壁开设有放置槽(6),所述移动板(4)的一侧侧壁开设有多个对称设置的第二通孔(7),第二通孔(7)内部滑动连接有滑板(8),滑板(8)的一端延伸至第二通孔(7)外部焊接有连接板(9),且连接板(9)的另一端共同焊接有挡板(10),其中一个所述第二通孔(7)的内部设置有距离机构。
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