[实用新型]一种高效率真空镀膜机有效
| 申请号： | 201821686383.2 | 申请日： | 2018-10-17 |
| 公开（公告）号： | CN209816269U | 公开（公告）日： | 2019-12-20 |
| 发明（设计）人： | 李志荣;陸创程 | 申请（专利权）人： | 东莞市汇成真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 44104 广州知友专利商标代理有限公司 | 代理人： | 周克佑 |
| 地址： | 523820 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种高效率真空镀膜机，其包括真空镀膜室，在真空镀膜室内安装有制冷盘管，对应制冷盘管的位置安装有用于加热制冷盘管的加热器，其特征是，真空镀膜机还包括密封罩和直线运动机构，密封罩安装在直线运动机构上，由直线运动机构带动密封罩直线运动，密封罩位于真空镀膜室内并与制冷盘管的位置对应，密封罩可密封罩住制冷盘管，对应制冷盘管的位置安装有抽气接头，抽气接头用于与外部的抽气泵连接，从而抽取在密封罩住制冷盘管时密封罩内的空气。本实用新型提高了吸附效率、工作效率，能使真空镀膜室内获得更洁净的真空环境。 | ||
| 搜索关键词： | 密封罩 制冷盘管 直线运动机构 真空镀膜 本实用新型 真空镀膜机 抽气接头 冷盘管 加热器 室内 真空镀膜室 工作效率 室内安装 吸附效率 真空环境 抽气泵 高效率 可密封 罩住 加热 抽取 洁净 外部 | ||
【主权项】：
1.一种高效率真空镀膜机，其包括真空镀膜室，在所述真空镀膜室内安装有制冷盘管，对应所述制冷盘管的位置安装有用于加热所述制冷盘管的加热器，其特征是，所述真空镀膜机还包括密封罩和直线运动机构，所述密封罩安装在所述直线运动机构上，由所述直线运动机构带动所述密封罩直线运动，所述密封罩位于所述真空镀膜室内并与所述制冷盘管的位置对应，所述密封罩可密封罩住所述制冷盘管，对应所述制冷盘管的位置安装有抽气接头，所述抽气接头用于与外部的抽气泵连接，从而抽取在密封罩罩住制冷盘管时所述密封罩内的空气。/n
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