[实用新型]用于掩模基板的装置或生产线有效
| 申请号： | 201821706659.9 | 申请日： | 2018-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN209778978U | 公开（公告）日： | 2019-12-13 |
| 发明（设计）人： | 斯蒂芬·詹姆斯·戴蒙德;周泽锋;吕海明;安德鲁·道格拉斯·皮尔森·格林;夏兰·约瑟夫·威尔森 | 申请（专利权）人： | P2I有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C16/04 |
| 代理公司： | 44202 广州三环专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王基才 |
| 地址： | 英国牛津郡艾*** | 国省代码： | 英国;GB |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于掩模基板的装置或生产线，装置或生产线包括：供给的基板；供给的突片；供给的掩模材料；以及掩模机构，用于将掩模材料和突片施加到供给过程中的基板上，其中掩模材料覆盖突片，且突片突出超过掩模材料。 | ||
| 搜索关键词： | 掩模材料 突片 基板 本实用新型 供给过程 掩模基板 掩模机构 施加 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种用于掩模基板的装置，所述装置包括：/n基板的进料；/n突片的供给；/n掩模材料的供给；以及/n掩模机构，用于将掩模材料和突片施加到进料中的所述基板上，其中，所述掩模材料覆盖所述突片，且所述突片突出超过所述掩模材料。/n
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