[实用新型]蒸汽递送容器组合件

摘要

本实用新型是针对一种蒸汽递送容器组合件。本实用新型是针对一种具有汽化器容器主体与定位在其中的至少一个支撑托盘之间的改善的热转移的汽化器或安瓿组合件。具体地说，提供了安置于容器主体与支撑托盘之间的热转移增强部件。在热转移增强部件或组合件的一个实例中，包含有完全或部分地围绕所述支撑托盘的导热网或衬里，所述导热网或衬里在所述支撑托盘与所述容器主体的内径或壁之间是楔形的。在相关实施例中，热转移增强部件包含可扩张支撑托盘侧壁以增加所述支撑托盘与所述容器主体内壁之间的物理接触。

主权项

1.一种用于汽化并递送汽化源材料的蒸汽递送容器组合件，所述容器组合件包括：容器主体，其具有由基底和侧壁界定的内部体积，所述侧壁界定所述容器的内径并具有内部侧壁表面；进气口和出气口，其与所述容器主体的所述内部体积流体连通地布置，所述进气口经调适以将第一气体供应到所述容器主体的所述内部体积；排气式支撑托盘，其安置于所述内部体积内且邻近于所述容器主体的所述侧壁，所述支撑托盘经调适以在延伸于所述进气口与所述出气口之间的流径中支撑可汽化源材料；以及热转移增强部件，其用以改善所述容器主体与所述排气式支撑托盘之间的热传导。