[实用新型]用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具及沉积装置

摘要

本实用新型提供了一种用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具及沉积装置，涉及涂层沉积辅助设备技术领域。该夹具包括传动单元和夹持单元，夹持单元用于装载掺杂源，传动单元与夹持单元连接，且传动单元能够带动夹持单元沿竖向运动，该夹具可调整掺杂源与热丝之间的距离，实现待掺杂物质掺杂量的灵活调节，从而实现待掺杂物质的梯度掺杂，改善了现有沉积过程中掺杂源与热丝之间的距离无法调节，从而导致待掺杂物掺杂量无法灵活调节的缺陷；该夹具结构简单，操作方便，且不会改变沉积装置原有的结构和部件，为在片材上沉积掺杂涂层提供了工业依据。本实用新型还提供一种沉积装置，包括炉体和上述夹具，夹具位于炉体内并对掺杂源进行装载。

主权项

1.一种用于在片材上沉积掺杂涂层的夹具，其特征在于，包括传动单元(1)和夹持单元(2)；所述夹持单元(2)用于装载掺杂源(3)，所述传动单元(1)与所述夹持单元(2)连接，且所述传动单元(1)能够带动所述夹持单元(2)沿竖向运动。