[实用新型]一种轻减装置

摘要

本实用新型提供一种轻减装置，包括：形成有水平面的底座；左立柱，左立柱可左右移动地设在底座上且垂直于水平面；右立柱，右立柱可左右移动地设在底座上且垂直于水平面，左立柱与右立柱之间的间距可调节；左轴承，左轴承套设在左立柱；右轴承，右轴承套设在右立柱；中间轴承，中间轴承设在底座上且位于左立柱与右立柱之间，中间轴承的轴线与水平面平行，左立柱的轴线与右立柱的轴线同在第一平面上，中间轴承的轴线与第一平面平行。根据本实用新型的轻减装置，能够精确地对料盒进行限位，使得料盒能够稳定移动，保证晶圆上料的精确度，距离传感器检测左右轴承间的距离，角速度传感器监测左右轴承的角速度。

主权项

1.一种轻减装置，其特征在于，包括：底座，所述底座上形成有水平面；左立柱，所述左立柱可左右移动地设在所述底座上且垂直于所述水平面；右立柱，所述右立柱可左右移动地设在所述底座上且垂直于所述水平面，所述左立柱与所述右立柱之间的间距可调节；左轴承，所述左轴承的内圈套设在所述左立柱上；右轴承，所述右轴承的内圈套设在所述右立柱上，所述左轴承与所述右轴承的形状尺寸相同且位于相同的高度；中间轴承，所述中间轴承设在所述底座上且位于所述左立柱与所述右立柱之间，所述中间轴承的轴线与所述水平面平行，所述左立柱的轴线与所述右立柱的轴线同在第一平面上，所述中间轴承的轴线与所述第一平面平行。