[实用新型]一种光刻机工件台移动调整装置有效
| 申请号： | 201821713607.4 | 申请日： | 2018-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN209028411U | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 丛国栋;方洁;刘剑;李志龙;黄亚庆 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 王宏婧 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种光刻机工件台移动调整装置，所述光刻机工件台移动调整装置包括：三个对接部件，其中一个对接部件固定设置于工件台的第一侧，其余两个对接部件固定设置于工件台上与所述第一侧相对的第二侧，以实现将所述工件台与整机框架对接，所述整机框架上设置与对接部件匹配的对接接口；至少三个气浮部件，分别设置于工件台上临近三个对接部件的位置，且至少一个气浮部件的支点与其临近的对接部件在三维坐标中预定平面的投影位置重合。由于气浮部件的支点与其临近的对接部件在三维坐标中预定平面的投影位置重合，缩短了光刻机工件台移动调整装置的运动支点与定位支点之间的距离，提高了装置结构的稳定性及重复性。 | ||
| 搜索关键词： | 对接部件 光刻机工件台 移动调整装置 气浮部件 固定设置 三维坐标 投影位置 预定平面 整机框架 工件台 重合 本实用新型 定位支点 对接接口 运动支点 装置结构 匹配 | ||
【主权项】：
1.一种光刻机工件台移动调整装置，用于调整工件台与整机框架相对位置，其特征在于，包括：三个对接部件，其中一个对接部件固定设置于工件台的第一侧，其余两个对接部件固定设置于工件台上与所述第一侧相对的第二侧，以实现将所述工件台与所述整机框架对接，所述整机框架上设置与对接部件匹配的对接接口；至少三个气浮部件，分别设置于工件台上临近三个对接部件的位置，且至少一个气浮部件的支点与其临近的对接部件的支点在三维坐标中预定平面的投影位置重合。
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