[实用新型]蒸镀装置有效
| 申请号： | 201821724529.8 | 申请日： | 2018-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN209128528U | 公开（公告）日： | 2019-07-19 |
| 发明（设计）人： | 魏雄伟 | 申请（专利权）人： | 广东聚华印刷显示技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/54 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 曾银凤 |
| 地址： | 510000 广东省广州市广州*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种蒸镀装置。该蒸镀装置包括腔体；设于所述腔体内的蒸镀源；设于所述腔体内且位于所述蒸镀源上方的载片架，所述载片架用于放置待蒸镀基板；以及设于所述载片架与所述蒸镀源之间的监测部件，所述监测部件包括晶振探测器以及承载平台，所述承载平台设有用于放置晶振片的第一开口，所述承载平台可转动用以切换所述晶振片，所述晶振探测器用以通过监测所述晶振片的振动频率来检测所述蒸镀源的蒸镀速率。当晶振片表面附着的材料达到一定量需要对其进行更换时，工人在腔体的仓门处即可通过转动承载平台，实现对处于腔体内不同位置的晶振片进行更换，无需进入腔体内部，操作简单方便，且不会造成腔体内环境的污染。 | ||
| 搜索关键词： | 晶振片 承载平台 蒸镀源 蒸镀装置 监测部件 体内 探测器 晶振 片架 腔体 本实用新型 表面附着 体内环境 振动频率 蒸镀基板 进入腔 可转动 体内部 载片架 仓门 蒸镀 转动 开口 监测 检测 污染 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，其特征在于，包括腔体；设于所述腔体内的蒸镀源；设于所述腔体内且位于所述蒸镀源上方的载片架，所述载片架用于放置待蒸镀基板；以及设于所述载片架与所述蒸镀源之间的监测部件，所述监测部件包括晶振探测器以及承载平台，所述承载平台设有用于放置晶振片的第一开口，所述承载平台可转动用以切换所述晶振片，所述晶振探测器用以通过监测所述晶振片的振动频率来检测所述蒸镀源的蒸镀速率。
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