[实用新型]一种化学气相沉积反应器

摘要

本实用新型涉及一种化学气相沉积反应器，包括外壳体以及外壳体前表面通过铰链铰接有装置门，所述外壳体内部底表面的上方焊接有连接块，所述连接块的上方一体成型有工作台，所述工作台异于所述连接块的一侧设置有夹持组件，所述夹持组件包括卡槽和固定块，所述工作台的上表面开设有卡槽，该化学气相沉积反应器，通过外壳体内部的夹持组件，夹持组件上设置的固定块和夹块等结构，可将需要进行气相沉淀反应的石墨块夹持住，并悬浮在空中，使得石墨块底部表面也可与通入的气体充分反应，防止由于气孔分布的局限性，导致石墨块底部的某些表面未能与气体充分的反应，从而得到品级较差产品的情况发生。

主权项

1.一种化学气相沉积反应器，包括外壳体(1)以及外壳体(1)前表面通过铰链铰接有装置门(2)，其特征在于：所述外壳体(1)内部底表面的上方焊接有连接块(10)，所述连接块(10)的上方一体成型有工作台(11)，所述工作台(11)异于所述连接块(10)的一侧设置有夹持组件(13)，所述夹持组件(13)包括卡槽(16)和固定块(12)，所述工作台(11)的上表面开设有卡槽(16)，所述卡槽(16)的上方设置有固定块(12)，固定块(12)的一侧焊接有卡块(14)，所述固定块(12)通过所述卡块(14)卡合于所述卡槽(16)内，所述外壳体(1)的下方设置有排气组件(8)，所述排气组件(8)包括电机(5)，所述电机(5)与所述外壳体(1)通过螺栓固定连接在一起，所述电机(5)与电源电性连接。