[实用新型]一种用于硅片刷片机的刷洗转动装置

摘要

本实用新型涉及一种用于硅片刷片机的刷洗转动装置，包括工作台，工作台的上端安装有清洗腔底罩，清洗腔底罩上端安装有清洗腔排水罩，洗腔排水罩上端中部安装有真空罩杯，清洗腔底罩内竖直安装有高转速电机，高转速电机上端的输出轴连接有驱动轴，驱动轴的上端竖直穿过真空罩杯与吸盘相连，驱动轴内设置有连接吸盘与真空罩杯腔体的管路，真空罩杯一侧开有与抽真空设备相连的接口，高转速电机一侧设置有相配的减速装置。本实用通过高转速电机控制吸盘转动，升降气缸控制圆盘刷上下升降，旋转气缸控制摆杆轴带着圆盘刷一起转动，自动化程度高，大大降低了人工成本，通过吸盘吸住硅片进行清洗，可以避免对硅片表面的损伤。

主权项

1.一种用于硅片刷片机的刷洗转动装置，包括工作台(2)、清洗腔底罩(4)和升降台(13)，其特征在于：所述的工作台(2)的上端安装有清洗腔底罩(4)，该清洗腔底罩(4)上端安装有清洗腔排水罩(5)，所述的清洗腔排水罩(5)上端中部安装有真空罩杯(19)，所述的清洗腔底罩(4)内竖直安装有高转速电机(15)，该高转速电机(15)上端的输出轴连接有驱动轴(20)，所述的驱动轴(20)的上端竖直穿过真空罩杯(19)与吸盘(7)相连，该驱动轴(20)内设置有连接吸盘(7)与真空罩杯(19)腔体的管路(21)，所述的真空罩杯(19)一侧开有与抽真空设备相连的接口(22)，所述的高转速电机(15)一侧设置有相配的减速装置，所述的工作台(2)的上端位于清洗腔底罩(4)的一侧竖直安装有摆杆轴座(10)，该摆杆轴座(10)内安装有上下运动的摆杆轴(11)，所述的摆杆轴(11)的上端一侧竖直安装有刷毛电机(9)，该刷毛电机(9)下端的输出轴上安装有圆盘刷(8)，所述的工作台(2)下方通过导杆(25)与底板(26)相连，该底板(26)的下端中部竖直安装有升降气缸(14)，所述的升降气缸(14)的活塞杆穿过底板(26)与升降台(13)相连，该升降台(13)的两侧套接在导杆(25)中部，所述的升降台(13)上端安装有与摆杆轴(11)下端相连的旋转气缸(12)。