[实用新型]一种带循环冷却装置的激光划片机

摘要

本实用新型公开了一种带循环冷却装置的激光划片机，包括激光划片装置以及与其配合的循环冷却装置；激光划片装置包括机架、移动载台、移动激光装置和定位组件；机架包括底座和设于底座上并位于底座两侧的侧墙，底座的顶部设有凹槽；循环冷却装置包括设于底座下方的储液箱、与储液箱相连的第一水泵、与第一水泵相连的过滤器、与过滤器相连的第二水泵、与第二水泵相连的去离子机构以及与去离子机构相连的喷水嘴，喷水嘴设于切割组件上，凹槽的底部设有与储液箱相连的通孔。设置与激光划片装置配合的循环冷却装置，利用喷水嘴对切割后的晶片进行冲洗并同时使晶片降温，减少了晶片的冷却时间，提高了生产效率，并同时对晶片进行了清洗。

主权项

1.一种带循环冷却装置的激光划片机，其特征在于：包括激光划片装置以及与其配合的循环冷却装置；所述激光划片装置包括机架、移动载台、移动激光装置和定位组件；所述机架包括底座和设于底座上并位于底座两侧的侧墙，底座的顶部设有凹槽；所述移动载台包括设于所述凹槽内的Y轴模组、及可滑动地设于Y轴模组上的载台组件，所述载台组件盛放晶片；所述移动激光装置包括设于所述侧墙上的X轴模组、及可滑动地设于X轴模组上的切割组件，所述X轴模组带动所述切割组件对所述载台组件上的晶片进行切割；所述定位组件包括设于所述切割组件上的第一定位装置、及固设于机架的至少一第二定位装置，所述第一定位装置和第二定位装置共同定位所述载台组件上的晶片；所述循环冷却装置包括设于底座下方的储液箱、与储液箱相连的第一水泵、与第一水泵相连的过滤器、与过滤器相连的第二水泵、与第二水泵相连的去离子机构以及与去离子机构相连的喷水嘴，喷水嘴设于切割组件上，所述凹槽的底部设有与储液箱相连的通孔。