[实用新型]蒸发源装置、成膜装置以及电子设备的制造装置有效
| 申请号： | 201821774000.7 | 申请日： | 2018-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN209508394U | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 田村博之 | 申请（专利权）人： | 佳能特机株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;H01L51/56 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人： | 张宝荣 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型涉及一种蒸发源装置、成膜装置以及电子设备的制造装置。蒸发源装置包括：用于收容蒸镀材料的坩埚和配置在所述坩埚的外侧并用于对所述坩埚进行加热的加热部。所述加热部具有热辐射面，用于向所述坩埚辐射热量，所述热辐射面的至少一部分与所述坩埚的外壁面的至少一部分相向设置，且所述热辐射面的形状和与之相向的坩埚外壁面的形状一致。 | ||
| 搜索关键词： | 坩埚 蒸发源装置 成膜装置 电子设备 制造装置 加热部 热辐射 本实用新型 辐射热量 热辐射面 相向设置 形状一致 蒸镀材料 坩埚外壁 外壁 相向 加热 收容 配置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸发源装置，包括配置在用于收容蒸镀材料的坩埚的外侧，并用于对所述坩埚进行加热的加热部，其特征在于，所述加热部具有热辐射面，用于向所述坩埚辐射热量，所述热辐射面的至少一部分与所述坩埚的外壁面的至少一部分相向设置，且所述热辐射面的形状和与之相向的坩埚外壁面的形状一致。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于佳能特机株式会社，未经佳能特机株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201821774000.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种24源连续有机材料蒸镀装备
- 下一篇：一种平衡磁场溅射镀膜装置
- 同类专利
- 专利分类
