[实用新型]一种机械手定位装置有效
| 申请号： | 201821783360.3 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN209022080U | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 文静;张阔峰;陶洪建;郑锋标 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | B25J11/00 | 分类号： | B25J11/00;B25J19/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 胡彬 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及光刻设备技术领域，尤其涉及一种机械手定位装置。该定位装置的滑板可移动地设置在基板上，驱动组件驱动滑板在垂直方向上往复运动。定位组件设置在滑板的顶端，用于为机械手进行水平向定位，减震组件连接在滑板与定位组件之间，用于吸收机械手与定位组件接触时产生的冲击振动。该滑板能在驱动组件的驱动作用下在垂直方向上往复运动，有效提高了垂向往复运动时的重复性精度，从而减少垂向运动对水平向重复定位精度的影响，提高机械手的水平向重复定位精度；通过设置减震组件，可有效吸收机械手定位时产生的冲击振动，进一步提高机械手的水平向重复定位精度，从而提高硅片交接和上片位置重复性精度。 | ||
| 搜索关键词： | 机械手 水平向 滑板 定位组件 重复定位 机械手定位装置 冲击振动 减震组件 驱动组件 可移动地设置 本实用新型 垂向运动 定位装置 光刻设备 驱动滑板 有效吸收 硅片 基板 上片 交接 驱动 吸收 | ||
【主权项】：
1.一种机械手定位装置，其特征在于，包括：基板(1)；滑板(2)，其可移动地设置在所述基板(1)上；驱动组件，所述驱动组件被配置为能够驱动所述滑板(2)在垂直方向上往复运动；定位组件，其设置在所述滑板(2)的顶端，所述定位组件用于为机械手进行水平向定位；减震组件(3)，其连接在所述滑板(2)与所述定位组件之间，用于吸收所述机械手与所述定位组件接触时产生的冲击振动。
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