[实用新型]一种硅片连续式自定位传输机构有效
| 申请号： | 201821788005.5 | 申请日： | 2018-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN209097528U | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 万喜增;严云;黄笑容;郑六奎 | 申请（专利权）人： | 浙江中晶新材料研究有限公司 |
| 主分类号： | B65G13/11 | 分类号： | B65G13/11;B65G13/06;B65G49/05 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 韩燕燕 |
| 地址： | 313100 浙江省*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及硅片加工技术领域，尤其涉及一种硅片连续式自定位传输机构，包括传片机构、第一定位机构及第二定位机构，通过在传片机构末端分别设置第一定位机构及第二定位机构，并预先设定第一定位机构及第二定位机构所调整的坐标位置，使通过传片机构传送至第一定位机构及第二定位机构处的硅片在传送过程中完成三点自定心调整，实现硅片自动化精准稳定定位，确保硅片的中心与后续转移吸附机构精确配合，节省后续倒角加工前的自调心步骤，实现批量硅片连续式自动定位，工艺连续性好，自动化程度高，大大节省人力，且可通过调整第一定位机构及第二定位机构的坐标参数，实现实现对不同尺寸的硅片进行定位，满足工业生产的多种需要。 | ||
| 搜索关键词： | 定位机构 硅片 传片机构 连续式 传输机构 自定位 自动化 本实用新型 传送过程 倒角加工 硅片加工 稳定定位 吸附机构 自动定位 坐标参数 坐标位置 自调心 自定心 传送 配合 | ||
【主权项】：
1.一种硅片连续式自定位传输机构，其特征在于，包括：传片机构(1)，所述传片机构(1)为辊式输送，其包括输送辊组件(11)与驱动组件(12)，所述驱动组件(12)驱动所述输送辊组件(11)输送硅片(10)；第一定位机构(2)，所述第一定位机构(2)设置于所述传片机构(1)的输出端，其正对所述传片机构(1)设置，其包括第一滑动组件(21)与第一定位组件(22)，所述第一滑动组件(21)驱动所述第一定位组件(22)沿所述传片机构(1)的输送方向对所述硅片(10)定位；以及第二定位机构(3)，所述第二定位机构(3)设置于所述传片机构(1)的输出端处，其包括第二滑动组件(31)与第二定位组件(32)，所述第二滑动组件(31)位于所述第一定位组件(22)的下方，其长度方向与所述传片机构(1)的输送方向水平垂直设置，所述第二定位组件(32)水平对称设置于所述第一定位组件(22)的两侧，其由所述第二滑动组件(31)驱动沿所述第二滑动组件(31)的长度方向同步滑动，且其沿与所述传片机构(1)的输送方向的水平垂直方向对所述硅片(10)两侧定位。
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